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| 技術參數 | 單位 | RDE800 | |
|---|---|---|---|
額定流量 | m3/h | 667/800 | |
| L/min | 11011/13233 | ||
| cfm | 392 | ||
| 極限壓力 | Torr | ≤7.5x10-3 | |
| mbar | ≤1x10-2 | ||
| Pa | ≤1 | ||
| 馬達 | 頻率 | HZ | 50/60 |
| 電壓 | V | 220/380/440 | |
| 額定功率 | HP | 25/30 | |
| KW | 18.5/22 | ||
| 鏈接 | 進氣口 | ISO0100 | |
| 排氣口 | ISO63 | ||
| 冷卻水 | 流量 | L/min | 3-7 |
| 溫度 | ℃ | 6SLM18℃-15SLM28℃ | |
| 壓力 | kg/cm3 | 2-4 | |
| 接頭 | RC3/8" | ||
| 氮氣 | 流量 | L/min | 依制程By process |
| 接頭 | Swagelok3/8" | ||
| 轉子轉速 | rpm | 3000 | |
| 噪音 | dB(A) | ＜80 | |
| 系統最大漏率 | mbar.l/s | ＜1x10-5 | |
| 室溫操作范圍 | ℃ | 5℃-40℃ | |
| 操作濕度 | RH | 90%以下 | |
| 文件名 | 類型 | 語言 | 日期 | 文件大小 | |
|---|---|---|---|---|---|
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